按成分:纯金属靶材、合金靶材、化合物靶材。按制造工艺:溅射靶材和蒸镀靶材。按基体材质:钢基靶材、陶瓷基靶材、玻璃基靶材、硅基靶材、FPC等。按应用领域:显示面板用靶材、太阳能电池用靶材、记录介质用靶材、装饰镀层用靶材、磁头用靶材、芯片用靶材、薄膜电路用靶材、精密光学用靶材、饰品用靶材、导电膜用靶材、催化剂用靶材等。按靶材形态:方形靶、圆形靶、扇形靶、条形靶、环型靶、管状靶、异性靶等。按表面光...
金属溅射靶材用途非常广泛,通常被用在平板显示、光学元器件、节能玻璃、半导体、 太阳能电池,卫浴等行业。
顾名思义是一种物理气相镀膜方式,溅射靶材利用离子源产生的离子,在真空中经过加速聚集,而形成高速度能的离子束流,轰击固体表面,离子和固体表面原子发生动能交换,使固体表面的原子离开固体并沉积在基底表面,被轰击的固体是制备溅射法沉积薄膜的原材料,称为溅射靶材。