钽环与铜环在真空密封中的泄漏率对比？

钽环泄漏率≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s，铜环为 5×10⁻⁹ Pa・m³/s，钽环更适合超高真空（＜1×10⁻⁷ Pa）场景。

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