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铌箔的轧制油残留量测试方法及合格标准?

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采用溶剂萃取 - 红外光谱法(ASTM D7371),残留量需≤50mg/m²,通过真空退火(800℃/1h)可降至 10mg/m²,避免半导体镀膜时的污染。

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