铌靶材的绑定工艺（In 钎焊）温度及压力控制？

钎焊温度 230℃，压力 0.1MPa，保温 10min，可使靶材与铜背靶的结合强度＞20MPa，避免溅射时因热应力脱落，用于 LCD 镀膜机。

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