铌靶材与钛靶材在溅射速率（1kW 功率）下的能耗对比？

铌靶材溅射速率 0.8μm/h，能耗 8kWh/μm；钛靶材 1.2μm/h，能耗 5kWh/μm。在对薄膜成分要求不高的装饰镀膜中，钛靶材更节能。

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