铌坩埚使用后的内壁清洁工艺（去除氧化物）？

采用 5% 氢氟酸 + 10% 硝酸混合液（60℃）浸泡 30min，再用去离子水超声清洗（功率 500W），可去除 99% 的氧化皮，重复使用次数从 5 次提升至 8 次。

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