离子注入-钨钼配件的作用是什么？

离子注入通常需要在离子注入设备中使用特殊的配件，例如钨钼（tungsten-molybdenum）配件。这些配件在离子注入过程中发挥着关键的作用，主要包括以下几个方面：

作为离子束的导向器：离子注入过程中，离子束需要被准确地引导到半导体样品表面。钨钼配件通常用作离子束的导向器或调节器，确保离子束的准确聚焦和定位。

耐高温性能：离子注入过程中会产生高温，而钨钼具有出色的耐高温性能，能够在高温环境下保持稳定性，不易发生形变或热损伤，确保设备的长期稳定运行。

化学惰性：离子注入设备中的配件需要具有良好的化学惰性，以确保在化学环境下不发生腐蚀或化学反应。钨钼具有良好的化学稳定性，不易与其他材料发生反应，因此适用于离子注入设备的制造。

机械强度：离子注入设备中的配件需要具有足够的机械强度和耐磨性，以抵御离子束的冲击和设备运行过程中可能发生的机械磨损。钨钼具有较高的机械强度和硬度，能够在离子注入设备中承受较大的压力和摩擦。