解决方案：
选择密度≥7.1g/cm³ 的靶材（理论密度 98% 以上）
优化溅射参数：降低功率密度至 2W/cm²，增加 Ar 气流量至 20sccm
案例：某光学企业通过以上措施，膜层颗粒缺陷率从 0.3% 降至 0.05%。
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