创新方向:
纳米多孔 Cr₂O₃膜用于 NO₂气体传感器,响应时间<10 秒
溅射 Cr/Pt/TiO₂复合膜,实现压力传感器温度补偿(精度 ±0.1% FS)
测试数据:在 85℃/85% RH 环境下,传感器寿命>5000 小时。
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