电解抛光:
电解液:H₂SO₄:H₃PO₄=3:1,电流密度 10-20A/dm²
效果:粗糙度 Ra≤0.2μm,反射率>90%
化学蚀刻:
蚀刻液:HNO₃:HF=5:1,蚀刻速率 0.1-0.3μm/min
应用:显示面板蒸镀掩模板图形加工
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