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真空镀膜舟的类型对工艺有何影响?

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不同形状适用于不同场景:

V 型舟:适合小剂量金属蒸发(如铝),常用于光学元件或手机屏幕镀膜。

U 型舟:稳定性高,适合半导体晶圆热处理或批量工件加热。

矩形舟:承载面积大,适用于太阳能电池硅片或电子元件烧结。



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