电源故障：检查直流电源输出稳定性。
气体流量：确保氩气进气量充足，流量计无堵塞。
靶材污染：清洁靶材表面，检查对地绝缘电阻是否达标（≥50kΩ）。
真空泄漏：检测真空系统密封性，更换老化密封圈。
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