纯度≥5N（99.999%）可显著降低杂质引起的电学缺陷，如 Fe/Ni 等金属杂质会导致 PN 结漏电流增大。
案例：某芯片厂使用 5N 铬靶材后，肖特基二极管反向漏电流从 1.2μA/cm² 降至 0.8μA/cm²。
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