波纹膜片在光纤压力传感器中的灵敏度如何提升？

波纹膜片的灵敏度与其几何参数密切相关。通过仿真优化发现，波高 60μm、波纹宽度 750μm的设计在 0.1MPa 压力下挠度可达 55μm，配合光纤法布里 - 珀罗腔结构，灵敏度可提升至51802μm/MPa，线性度达 0.9991。相比传统平膜片，波纹结构通过增加有效形变面积，使压力 - 位移响应更显著，适用于微压高精度测量。

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