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真空镀膜舟的材质如何选择?

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需根据蒸发材料的熔点、活性及工艺环境(真空 / 惰性气体)决定。例如:

高熔点金属(如钨、钛):选钨舟或碳 - 碳复合材料舟,耐高温且蒸气压低。

中低熔点金属(如铝、铜):钼舟或石墨舟成本更低,但石墨需控制氧气避免氧化。

活性金属(如钽、铌):优先选择钽舟或涂层钨舟(如碳化钨涂层),减少化学反应。


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