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为什么用氩气用于溅射？

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惰性气体，特别是氩气，通常被用作溅射气体，因为它们不与目标材料反应或与任何工艺气体结合，并且由于其分子量高而产生更高的溅射和沉积速率。

文章分类： 天博学堂
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