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如何选择铌靶材的制造工艺?
1
工艺对比
:
工艺类型
适用场景
优势
劣势
粉末冶金
复杂形状靶材
成本低,密度≥98%
溅射速率较低(0.1-0.2μm/min)
真空熔炼
大尺寸靶材
晶粒均匀,纯度提升至 5N
设备投资高
冷等静压
超高纯度靶材
杂质含量<5ppm
生产周期长
宝鸡天博金属在金属材料加工行业内深耕多年,产品保质保量,致力于服务好每位客户,欢迎各位客户随时来电咨询:13347285481陈(WX同号)
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