高纯度熔炼:采用真空电子束熔炼(EB)或真空电弧重熔(VAR)技术,去除杂质,纯度可达 99.999% 以上。
晶粒控制:通过冷锻压、多向轧制及中间静压处理,细化晶粒并优化取向,提升溅射均匀性。
精密加工:表面粗糙度控制在 Ra≤0.8μm,平面度误差小于 0.05mm,确保镀膜质量。
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