12 英寸靶坯量产:实现大尺寸靶材制备,满足先进制程需求。
超高纯冶金级钽粉:纯度达 6N(99.9999%),解决芯片关键材料依赖进口问题。
晶粒取向优化:通过热处理控制 {111} 晶面比例,提升溅射速率和膜层均匀性。
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