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钽靶材的执行标准及应用场景是什么?

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钽靶材执行ASTM B708-98,常见规格:

圆靶:直径 25-400mm,厚度 3-28mm。

方靶:厚度 1-20mm,宽度 10-1000mm。

应用:半导体溅射、平板显示、光学镀膜等领域。


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