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半导体离子注入机离子源钨钼组件6
来源:天博金属网址:http://www.tianbometal.com 半导体离子注入机离子源钨钼组件是半导体制造工艺的重要组成部分,主要用于离子注入机的离子源部位,实现半导体材料表面改性的高新技术。宝鸡天博金属材料有限公司生产的半导体离子注入用高端钨钼部件,可以提供钨高能离子源部件、钨或钼的大束流离子注入部件、钼中束流离子源部件等。在半导体材料掺杂以及金属、陶瓷、高分子聚合物等的表面改性上获得了极为广泛的应用,已成为当代大规模集成电路制造环节必不可少的手段。 |