靶材的种类有哪些？

按成分：纯金属靶材、合金靶材、化合物靶材。

按制造工艺：溅射靶材和蒸镀靶材。

按基体材质：钢基靶材、陶瓷基靶材、玻璃基靶材、硅基靶材、FPC等。

按应用领域：显示面板用靶材、太阳能电池用靶材、记录介质用靶材、装饰镀层用靶材、磁头用靶材、芯片用靶材、薄膜电路用靶材、精密光学用靶材、饰品用靶材、导电膜用靶材、催化剂用靶材等。

按靶材形态：方形靶、圆形靶、扇形靶、条形靶、环型靶、管状靶、异性靶等。

按表面光滑度：粗糙靶、光亮靶。