钛靶材是一种用于物理气相沉积(PVD)、磁控溅射等工艺的材料。主要用于制造薄膜材料,通过将钛靶材置于真空环境下,利用离子轰击或其他能量源使其原子或分子从靶材表面脱离并沉积到基材表面,形成薄膜。
钛靶材因其良好的耐腐蚀性、稳定性和导电性,广泛应用于各种高精度和高要求的薄膜制备工艺中。
钛靶材的应用领域非常广泛,尤其是在电子、半导体、光学、光伏、装饰等行业。例如:
半导体制造:用于制备导电薄膜,如钛薄膜,用作金属互连层、阻挡层等。
光学镀膜:用于制造光学镜头、光学滤波器等,需要具备良好抗氧化性能和机械性能的钛薄膜。
太阳能电池:在光伏产业中,用于制备太阳能电池的导电薄膜。
装饰材料:在高端装饰品或建筑材料中,钛靶材用于镀钛装饰层,使表面具有独特的色泽和耐磨性能。