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如何提高铬靶的溅射效率?

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可以通过优化靶材的制备工艺,提高靶材的致密度和纯度,减少内部缺陷,从而提高溅射效率。调整溅射设备的参数,如适当提高溅射功率、优化气体流量和压力等,也能提升溅射效率。此外,选择合适的靶材尺寸和形状,使其与溅射设备更好地匹配,以及定期对靶材进行表面处理,去除表面氧化层等,都有助于提高铬靶的溅射效率。


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