钽材表面氧化膜厚度的无损检测方法有哪些？

采用椭圆偏振光谱仪（波长 632.8nm）测量 Ta₂O₅膜厚（精度 ±1nm），或通过 X 射线光电子能谱（XPS）分析氧化态（Ta⁵⁺占比≥98%）。

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