蓝宝石长晶用铌坩埚的缺陷控制技术？

通过表面电解抛光（电压 20V / 时间 30min）+ 纳米金刚石涂层（厚度 2μm），使坩埚内壁粗糙度 Ra≤0.1μm，蓝宝石晶体位错密度从 10⁶/cm² 降至 10⁴/cm²，用于三安光电 LED 衬底生产。

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