铌坩埚单价是石英坩埚的 5 倍,但寿命延长 5 倍(50 次 vs 10 次),综合成本降低 60%。铌坩埚用于碳化硅晶体生长(2500℃),石英坩埚用于硅单晶(1500℃)。
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