铌管与哈氏合金管在含氟化物溶液中的成本对比？

铌管在 40% 氢氟酸中寿命 10 年，哈氏合金 C-276 约 3 年，铌管单价是哈氏合金的 3 倍，但 10 年周期总成本降低 40%，适合光伏蚀刻设备。

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