选择舟时需要考虑哪些因素？

温度要求：需明确工艺所需的温度范围。若工艺温度接近或超过钼的熔点 2623℃，则应选择熔点高达 3422℃的钨舟，如一些高熔点金属的蒸发镀膜工艺。若是普通的真空镀膜等一般高温工艺，钼舟通常就能满足要求。

加热方式：如果采用高频感应加热，钼舟因导电性好能更好地与高频电磁场耦合，更适合此工艺。若是电阻加热等方式，钨舟和钼舟都可根据具体的温度、功率等要求进行选择。

环境气氛：在氧化性气氛中，钼舟更容易氧化，需充入惰性气体等进行保护；而钨舟的抗氧化性相对较好。若工艺在还原性气氛或惰性气氛中进行，两者的选择可更多考虑其他因素。

材料兼容性：要考虑待处理材料与舟体材料的兼容性。例如处理含钼化合物时，钼舟可减少化学反应；而处理一些需要高纯度、低杂质引入的材料时，钨舟的高纯度和化学稳定性可能更有利。

对产品性能的影响：若产品对薄膜的均匀性、致密性要求高，钼舟良好的导热导电性可使蒸发源稳定，利于形成高质量薄膜。对于要求高硬度、高熔点的部件制造，钨舟的高强度和高熔点能更好地保证工艺精度。

设备负载能力：设备的承重和功率等负载能力决定了舟体的选择。钨舟密度大、质量重，对设备的承重要求高；钼舟质量轻，更适合对负载敏感的设备，如小型镀膜设备或一些便携式的半导体加工设备。

设备尺寸和空间：舟体的尺寸需与设备匹配。在空间有限的设备中，质量轻且可加工性好的钼舟可能更便于安装和操作；而对于大型设备，若对温度和稳定性要求极高，即使钨舟体积和质量较大，也可能是更优选择。

成本因素：钨的价格相对较高，钨舟的制造成本也较高；钼的价格相对较低，钼舟成本也较低。在满足工艺要求的前提下，成本是一个重要的考虑因素，对于大规模生产且对成本敏感的工艺，可能会优先选择钼舟。

环保要求：在使用过程中，钨舟和钼舟一般不会产生严重的环境污染问题，但在废弃处理时，需考虑其回收利用和对环境的影响。钨的回收难度相对较大，钼的回收技术相对成熟，从环保和资源回收角度看，钼舟可能具有一定优势。

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