实验需求:
样品情况:样品大或多,选大尺寸、大容量钨舟,防挤压碰撞。如半导体外延生长处理多衬底时。
实验温度:高温实验,超 2000℃的,挑高纯度、厚壁钨舟,稳定性强。
蒸发材料:熔点高的,像钨、钼,用耐高温、厚且纯的钨舟;蒸气压高的,关注舟形状结构。
设备适配:
镀膜设备:电子束、热蒸发镀膜设备对钨舟尺寸、形状要求不同,前者重聚焦精度,后者看加热效率与均匀性。
真空腔:依真空腔大小选钨舟,要能放入、与壁和部件留距,且装卸便捷。
加热方式:电阻加热选与电极适配的,保接触良好;辐射加热考虑舟对热量吸收分布影响。
成本效率:
实验频率:高频次实验用质量好、寿命长的,虽采购成本高,但减少更换、提效降本;偶尔做的可选低价普通钨舟。
预算限制:按预算选,在满足基本要求下挑性价比高的,多比较供应商产品。
还可参考他人经验、文献,或与供应商沟通获专业建议
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