磁控溅射镀膜中蒸发舟无法起辉怎么办？

排查以下问题：

电源故障：检查直流电源输出稳定性。

气体流量：确保氩气进气量充足，流量计无堵塞。

靶材污染：清洁靶材表面，检查对地绝缘电阻是否达标（≥50kΩ）。

真空泄漏：检测真空系统密封性，更换老化密封圈。

宝鸡天博金属在金属材料加工行业内深耕多年，产品保质保量，致力于服务好每位客户，欢迎各位客户随时来电咨询：13347285481陈（WX同号）

声明：此篇为宝鸡天博金属材料有限公司原创文章，转载请标明出处链接：https://www.tianbometal.com/h-nd-645.html

文章分类：天博学堂

分享到：