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铌靶材与钽靶材在显示面板镀膜中的效率对比?

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铌靶材溅射速率 1.2μm/min(功率 2kW),是钽靶材(0.8μm/min)的 1.5 倍,且成本降低 30%,用于京东方柔性 OLED 透明导电层(厚度 20nm)。

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