影响钨溅射靶材耐磨性和抗变形能力的因素有哪些？

材料特性：

纯度：纯度高杂质少，晶体结构完整，耐磨性与抗变形能力强，杂质多易在晶界引发问题。

晶粒尺寸：细小均匀晶粒可增晶界面积，阻碍位错运动，提升性能；粗大晶粒则相反。

相组成：不同相比例与分布影响性能，合适相组成能强化材料。

制备工艺：

粉末制备方法：如雾化法、机械合金化法影响粉末粒度、形状等，进而影响靶材性能。

烧结工艺：烧结温度、压力、时间不当会致晶粒长大或产生缺陷，合理参数可提致密度。

加工工艺：冷、热加工工艺若参数有误，会使组织不均，影响性能。

使用环境：

溅射功率：功率大轰击强、温度高，易改变靶材表面结构，致磨损变形。

工作温度：高温使钨原子热运动加剧、强度硬度降低，加速晶粒长大。

溅射气氛：气体种类、压力影响靶材，活性气体易致表面化学反应。

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